18日，走进托伦斯半导体设备启东有限公司机加生产车间，一边是同时运转的数十台设备，另一边摆放着一批待交付的产品成品。公司副总李昌哲拿起其中一件向记者介绍，“这是装在半导体设备上的一个灯罩，别看它个头不大，售价却与一台小轿车相当。这款产品对机加工、焊接以及表面处理的要求极高，我们是这家客户的独家供应商。”

托伦斯是国内半导体设备零部件加工行业的“小巨人”。2018年，企业在启东投资落户，并于2020年8月将上海生产中心整体搬迁至启东经济开发区。自正式投产以来，企业营收高速增长，2021年超2亿元，今年上半年1.7亿元，全年预计可实现营收3.5亿元。

营收连年增长，得益于一批头部厂商的青睐。托伦斯的客户群体中不乏北方华创、中微、松下等国际半导体设备大厂。“我们拥有精密加工、钎焊及自动轨道焊接技术、表面处理特殊制程等关键制程研发和垂直整合能力，产品特点是‘少样多量’，绝大多数是根据客户需求定制的。”李昌哲说，正因如此，托伦斯的客户黏性很强，往往都是客户自己找上门来，自然就不愁订单。

半导体制造对于制程、质量、洁净度、纯度等方面有着极其严苛的要求及准入制度，而托伦斯早在2005年就凭借其领先的技术能力通过中微半导体等企业的认证，目前是国内仅有的3家通过认证的企业之一。

表面处理是半导体设备零部件制造中一道重要的工序。李昌哲带记者参观了托伦斯投入3000万元打造的表面处理线，其内部的无尘室洁净度达到医院手术室标准。“这里好比一个厨房，我们前期花了大量精力研制标准‘配方’，把‘烹饪’过程中的人为因素拿掉，每一个工件在槽里放多久、温度多少，都在后台设置好，以保证首件产品跟量产件的品质完全一致。”

立足于对半导体前道设备核心零部件的自主研发，托伦斯通过加工流程设计、精密加工程序的自主二次开发，对生产工具的自主设计和调配，以及国内顶尖的钎焊工艺和表面处理产线，使产品达到了极高的工艺水平，形成高精密多工位复杂型面制造技术、高精密微孔制造技术等核心技术，完成关键精密零部件到7nm制程的国产化。

“研发是我们最重要的资产。”托伦斯管理总监祝耀辉介绍，公司在技术创新和产品研发上的投入从不吝啬，拿出每年近5%的营业收入作为研发经费。公司拥有一支50人的研发团队，常年与江苏大学等高校以及主要客户开展产学研合作，以技术创新为产品和服务持续赋能。

对托伦斯来说，选择启东不仅因为其所在的长三角地区是半导体产业链的“主战场”，更是因为当地为企业提供的高效服务。“招商团队年轻、热情、专业。”李昌哲说，园区和相关部门前期为企业找到过渡厂房，还在人才招聘、融资、上市辅导、税收减免等方面提供了全方位帮助，“找到了家的感觉，就在这里扎根，不走了！”

紧跟中国半导体行业的发展步伐，迎接中国高端制造产业的需求及挑战，对未来，托伦斯充满信心。目前，公司二期20亩厂房正在加快建设中，预计一期、二期产能满载后，年销售额将超过10亿元。李昌哲表示，公司在产能扩充的同时将持续提升自主研发能力，打造国际领先的半导体设备服务商。

本报记者 沈雪梅 王玮丽